CDS管路阀箱
天津南轩半导体CDS自动供液系统
适用对象:HF/ HNO3 KOH NH4OH NAOH H2SO4 HCL H2O2 IPA等药液
主要用途:该系统主要用于湿法刻蚀清洗设备工程工序药液的集中配送,药液经管路输送至各设备,具有自动化程度高,配比精准,操作便捷等特点。
3 控制模式:手动模式、自动控制模式