湿法清洗机
1）适用于6“-8“的硅片清洗功能
2）药液循环过滤，增强了清洗效果
3）采用超声/兆声波清洗装置，保证清洗更彻底
4）全自动控制，可选自动配、补液系统
5）高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠
6）人性化的操作界面，采用先进的工控机终端显示技术和智能化的记忆控制系统，有效地提高了工作效率
