湿法清洗机
1)适用于6“-8“的硅片清洗功能
2)药液循环过滤,增强了清洗效果
3)采用超声/兆声波清洗装置,保证清洗更彻底
4)全自动控制,可选自动配、补液系统
5)高速移载机械手,伺服驱动控制,保证运行平稳,定位可靠
6)人性化的操作界面,采用先进的工控机终端显示技术和智能化的记忆控制系统,有效地提高了工作效率