12寸全自动碱腐蚀机
设备用途：该设备用于12寸硅片工艺制造中硅片腐蚀清洗工艺。
设备整机主要由机架、槽体、排风系统、加热系统、电控单元、水路系统及气路系统等组成。
1）主要用于12寸硅片的腐蚀清洗。
2）标准刻蚀工艺，使用KOH/NH4OH/H2O2/HCL等。
3）KOH槽安装旋转和抖动装置，硅片腐蚀更均匀。
4）设置隔断门防止酸碱气混合影响硅片腐蚀效果。
5）槽内安装超声和加热装置。
6）设备后部设有排风系统，保证排风顺畅。
