化腐前清洗机
1）适用于多种规格硅片的腐蚀清洗，同一台设备科编程多套运行软件
2）根据工艺需求，槽体科匹配超声、抖动、旋转、循环过滤等功能
3）全自动控制，可选自动配、补液系统
4）高速移载机械手，私服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠
5）机械手直接夹取PFA卡塞，更好的满足客户需求
6）采用国际知名电气元件
