全自动硅片预清洗机
全自动硅片清洗设备
1、适用于3”—8”的硅片清洗。
2、采用超声波清洗装置，保证清洗更彻底。
3、上下抛动，增强清洗效果。
4、全自动控制，可选自动配补液系统。
5、高速移载机械手，运行更平稳，定位更可靠，保证运行不产生晃动。
6、人性化操作界面，采用先进触摸屏终端显示，智能化记忆控制，有效提高工作效率。
7、采用国际知名品牌的电器元件。
全自动LED硅片清洗机 此设备适用于砷化镓衬底、硅衬底、蓝宝石衬底的片子
