芯片段清洗机
RCA 湿法清洗设备
1、采用工控机+PLC+条码枪的控制，方便信息的读取、记录，可与工厂MES系统相连接；
2、适用于多种规格硅片的腐蚀清洗，同一台设备可编程多套运行软件；
3、跟据工艺需求，槽体可匹配超（兆）声、抖动、旋转、溢流循环等功能；
4、全自动控制，可选择自动配、补液，保证了操作的安全稳定性；
5、高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠；
6、机械手直接夹取PFA卡塞（或夹取片子），更好的满足工艺需求。
工控机+PLC+条码枪的方式
