芯片段清洗机
RCA 湿法清洗设备
1、采用工控机+PLC+条码枪的控制,方便信息的读取、记录,可与工厂MES系统相连接;
2、适用于多种规格硅片的腐蚀清洗,同一台设备可编程多套运行软件;
3、跟据工艺需求,槽体可匹配超(兆)声、抖动、旋转、溢流循环等功能;
4、全自动控制,可选择自动配、补液,保证了操作的安全稳定性;
5、高速移载机械手,伺服驱动控制,保证运行平稳,定位可靠;
6、机械手直接夹取PFA卡塞(或夹取片子),更好的满足工艺需求。
工控机+PLC+条码枪的方式